刘迎伟 刘凯 柯熙政 刘海林 刘韶轩 刘俊 王瑞荣 陈李 徐晓松 吴俊伟 苑伟政 莫冰 杜康 范京 韩光平 马炳和 解旭辉 陈德勇 张正福 刘晓为 李昕欣 朱二辉 郭玉刚 姜涛 陈永 姜澄宇 车录锋 毋正伟 熊继军 吕湘连

影响因子 自组织 全对称结构 微机械加速度计 模拟 多域耦合分析 角速度传感器 输出电容 子结构 灵敏度 双级解耦机构 非线性 振动环 介观压阻效应 偏转方向 自激驱动 结构优化 动力学方程 离差系数 工艺误差 动态误差 体微机械加工 多端口组件网络 微机电系统 遗传算法 微机械加工技术 共振隧穿薄膜 带宽 取样积分 AD采样