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微细电铸 氧化性能 热压印 平面度 纳米技术 非晶态 摩擦学性能 开孔泡沫金属 超声加工 工艺 石墨择优取向 解耦 粗糙度 表征 光流技术 光学测试 紫外光固化型聚合物 特征 微射出成型 动态特性 均匀性 特征提取 电解加工 并存吸附状态 微系统 微型传感器 摩擦学特性 复合微细加工 仿真 高频感应加热