伍小平 巫正中 周承恩 樊康旗 王美龄 杜振辉 余同希 张立宪 李战华 洪友士 姚劲松 孟永钢 谢季佳 陈龙龙 郭成 郝鹏飞 朱西平 蒋诚志 贺学明 康新 王秀红 张泰华 谢艳 徐绯 韩有君 朱俊华 丁建宁 梅涛 贾建援 包志军

残余应力 发展趋势 单晶硅 粘附 压阻效应 薄膜基底结构 建模与仿真 液体流动 体积流量 指向性 三层悬臂梁 计算机辅助设计 数值方法 CMOS 微机械技术 宏模型 模拟 临界电压 力学性能 多晶硅 悬臂梁 力学特性 粗糙表面 电化学腐蚀 Knudsen数 静电微电机 泛函分析 孔径 界面（相）力学 计算机模拟

残余应力