鲍敏杭 许金海 周斌 卢凉 颜黄苹 李伟东 高钟毓 邢丽娟 褚金奎 陈志勇 杜平安 张国俊 于奇 李昕欣 李跃进 许杨剑 杨洪东 杨世忠 卞剑涛 黄树森 娄利飞 罗怡 束平 陈曦 李圣怡 卓勇 屠珊 冯勇建 黄志奇 余丹铭

非线性振动 静电力分布 发展趋势 调节阀 零点增益可调 概率模型 微机械技术 PZT薄膜 测试系统 试验 电容分布 微动系统 细微加工 传感器市场 压力测量 智能化 LIGA 最佳频率范围 电容式 微型传感器 微执行器 MEMS工艺误差 测量 优化设计 微驱动器 工艺 硅片 微机械 运动员 网球拍