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表面节流 制造 空气静压止推轴承 复合形法 直线度 主轴系统 气体静压轴承 工作特性 自动找正 缓冲结构 均压槽 缓冲区 静压气体球轴承 气锤自激 进口效应 优化设计 缓冲密封 动态特性 有限元法 空气静压轴承 静态特性 静压气体轴颈轴承 工作刚度 爬行现象 静压气浮导轨 缓冲气缸