杨士元 季国顺 韩永志 应济 吕胜利 李文望 骆祖莹 陈子辰 张永康 贺学明 陈花玲 王永泉 范华春 林谢昭 李晓维 马海阳 孙道恒 许大浦

子空间 微机电系统 有限元 耦合 系统级模拟 微梁 微电子机械系统 逻辑思维方法 电路仿真 PSPICE VLSI 等效电路 CMOS 瞬态分析 最大功耗 物理场耦合 MEMS 仿真 静电驱动 建模与仿真 EDA 模态分析 加速度计 模块化系统 方法论 微机电系统MEMS)