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宽波段图谱-机械领域：

研究人员

王占山 卢红成 李阳平 王风丽 闫峰 沈祥伟 陈玲燕 王洪昌

相关术语

反应离子刻蚀 高反射率 多层膜 抗反射亚波长结构 极紫外 亚四分之一波长 刻蚀速率

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