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多晶硅纳米薄膜图谱-机械领域：

研究人员

陆学斌 崔林 刘晓为 揣荣岩 郑雁公 张大为 刘本伟 何晓宇

相关术语

掺杂浓度 应变系数 隧道压阻理论 有限元 线性度 密封腔 压力传感器 牺牲层

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