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摩擦学性能 高温抗氧化性 电导激活解 共振频率 光致发光 SiO2多孔网络 敏感层 耐磨性 光学带宽 高温 锗纳米晶 摩擦磨损性能 乙酸 电导 二甲苯蒸汽 花蕾状ZnO层 Ge纳米颗粒 微动疲劳 气敏元件 钛合金 非平衡磁控溅射 磁控共溅射 离子液体 超磁致伸缩薄膜 硬脂酸钾薄膜 AlCrN薄膜 热氧化 光波导 硅油 气体传感器