李文治 张大伟 杜军 黄元申 张平 唐云 贺洪波 范正修 方仁昌 孙嵩泉 赵军军 谭俊 胡焕林 向伟 严晖 蔡志海 邵建达

力学性能 减反膜 膜厚监控 应力 弱吸收 微观结构 纳米复合 立方氮化硼薄膜 TiN Ti-Si-N薄膜 离子源 高反膜 激光损伤阈值