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离子束辅助沉积图谱-机械领域：

研究人员

李文治 张大伟 杜军 黄元申 张平 唐云 贺洪波 范正修

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力学性能 减反膜 膜厚监控 应力 弱吸收 微观结构 纳米复合 立方氮化硼薄膜

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