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碳化硅薄膜图谱-机械领域：

研究人员

高劲松 王笑夷 陈红 王彤彤 郑宣鸣 申振峰 范镝

相关术语

硬度和弹性模量 离子辅助电离 薄膜制备 表面改性

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