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牺牲层图谱-机械领域：

研究人员

梁庆 吴昌聚 金仲和 乔大勇 孙晓娜 王健 王跃林 张华

相关术语

微机电系统 谐振梁 多孔硅 刻蚀速率 凹槽结构 退火 腐蚀速率 密封腔

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