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预压缩量 气阀 浮环轴承 动静压浮环轴承 磁头盘系统 弹簧 静态特性 活塞式压缩机 精密定位技术 微机电系统 柔性铰链 阻尼系数 动态特性 临界质量 气穴 供油压力 径向推力联合浮环轴承 动力学方程 稳定性 功能结构 力学特性