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刻蚀速率图谱-机械领域：

研究人员

虞益挺 洪义麟 王旭迪 徐向东 卢红成 苑伟政 沈祥伟 刘正堂

相关术语

ICP 牺牲层 反应离子刻蚀 抗反射亚波长结构 刻蚀 离子束刻蚀 表面质量 图形转移

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