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自由度 双伺服环控制 弹性铰链 微位移 纳米定位 微位移机构 柔性铰链 弹性变形 控制方法 微位移放大机构 压电陶瓷致动器 位移放大机构 动态性能 电荷控制 非线性特性 迟滞 PID控制 电流控制 模糊控制 蠕变特性曲线 动态特性 非线性 微动平台 迟滞非线性 微定位平台 结构力学 微进给平台 共焦显微镜 微定位工作台 有限元方法