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光栅平动式光调制器图谱-机械领域：

研究人员

付红桥 张洁 张智海 王宁 黄尚廉 金珠 孙吉勇

相关术语

微光机电系统 衍射光栅 傅里叶光学 吸合电压 MEMS 边缘场效应 残余应力自测量方法

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