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光学邻近校正图谱-机械领域：

研究人员

高根生 熊军 王国雄 陈志锦 严晓浪 陈晔 史峥 潘意杰

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双重图形技术 光刻仿真 分辨率增强技术 重用 可制造性设计 矩阵分解

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