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双频激光干涉仪图谱-机械领域：

研究人员

李醒飞 郭敬滨 张晨阳 王波 曹关祥 董申 李信 张君

相关术语

有限元 自适应控制 检验 微动特性 挠性探头 电梯导轨 直线度 定位精度

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