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MATLAB仿真 完全平衡 非线性有限元 晶圆传输机器人 原理 最大额定功率 梯形齿同步带 额定功率 复式系杆 周转轮系 运动学标定 压轴力 滚刀 误差补偿 设计 带 基准额定功率 函数极值 三环减速器 设计功率 齿形 显著性分析 柔性 带轮 最佳节距差 动力学仿真 初拉力 油膜浮动 牛顿迭代法 最佳带速