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沉积速率 等离子体 WC 耐磨性 金刚石薄膜 应用 PVD 化学组成 工具 PVCD 刻蚀 金刚石膜 使用寿命 结合强度 脱碳层 等离子体弧 结合力 抛光 抗弯强度 综合性能 硬质合金 CBN 制备和应用 涂层结构 石墨化 使用特性 工模具 正交设计 涂层刀片 PCBN