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工艺参数 牺牲层技术 微细电铸 电铸 模糊神经网络 over-plating 加速度触发开关 仿真 精细网片 微细电火花加工 模具 柔性接触探针 光刻 表面粗糙度 组合制作 ANSYS 变网格 三维金属微结构 高开孔率 负性光刻胶 微结构 微弹簧 高深宽比 SU-8光刻 SU-8胶