陈威 张旭海 温庆平 江静华 刘维民 万志华 邵红红 桑瑞鹏 冯治中 薛德胜 周晖 刘洪柱 蒋建清 陈云霞

磁控溅射 非平衡磁控溅射 电化学沉积 掺杂Ti 摩擦学性能 微机电系统MEMS) 微观摩擦性能 结构和性能 摩擦因数 结合力 浸涂-热解法 制备 生长模式