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MEMS移相器图谱-机械领域：

研究人员

贾建援 张大兴 LeeJongchul 郭永献 朱淮城 梁丽萍 吴群 贺训军

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垂直互连线 磁动势 薄衬底 Ka波段 多层弯曲磁芯微执行器 芯片微封装 吸合现象

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