徐可为 徐洮 介万奇 葛利玲 巴晶 刘力强 马大衍 卢正欣 王昕 马青松 井晓天

等离子体化学气相沉积 磁控溅射 硬质膜 声发射检测 PCVD 等离子体增强化学气相沉积PCVD) 电沉积应力 数学算法 结合力 脉冲直流化学气相沉积PCVD) 源定位 研究进展 PCVD硬质膜 硬质薄膜 工艺 摩擦磨损性能 结合强度 纳米薄膜 Ti-Si-N薄膜 龟裂 Au-Rh配套镀层 物理模型 Ti-Si-N 成膜理论 定位方法