贾玉斌 胡小唐 杨振川 李志军 张大成 栗大超 金翠云 吴文刚 徐嘉佳 袁勇 钟莹 张培玉 姜岩峰 董海峰 李一博 武国英 张威 张海霞 靳世久 黄庆安 董汉鹏 张国雄 郭辉 冯亚林

光学反射 机械谐振 各向异性腐蚀 原电池 气体传感器 梳齿驱动 加速度计 隧道电流 谐振频率 非线性 MEMSCAD 音叉 图像增强 微夹钳 IMEE 微谐振器 谐振器 动态测试 扫频 微机械加工 活性铜电极 MEMS谐振器 机器微视觉 微机电系统 垂直扭转 特征提取 光学微镜 小波变换 体硅工艺 硅微加工

北京大学微电子所