袁巨龙 周兆忠 赵文宏 吕冰海 裴翔 阮健 李胜 文东辉 赵萍 吴明明 王志伟

精密球 质量 平面研磨 超精密加工 不定偏心 轨迹方程 研磨 数字控制 平面度 抛光 表面粗糙度 氮化铝（AIN）基片 陶瓷球 效率 伺服阀 材料去除函数 修正 均匀性 滚动轴承 球形误差 双自转研磨 动态特性 偏心保持架 CMP

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