任俊峰 陈卫东 张莹 李杏华 张国雄 于复生 裘祖荣 么春娟 樊玉铭 姚伟 刘欣丽

光电位置检测器 微机械臂 激光干涉仪 压电陶瓷 CCD 微型靶标 有限元法 不确定度 温度补偿 PID 激光跟踪系统 步进电机 单片机 坐标测量机 谐振筒式传感器 燃油密度测量