陈杨 郑慧萌 陈志刚 杨兆军 陈康敏 倪超英 李霞章 罗向阳 谭建荣 林相华 刘曦 隋润涛 贾玉景 范真

性能 单晶硅片 GaAs 硅片 物料清单 纳米CeO2 磨料粒径 SHS 化学机械抛光 纳米磨料 明细表 多信号 物料信息提取 CeO2磨料 模糊控制 重力分离 粗糙度 抛光 在线监测 显微组织 成本估算 微孔钻削 物料汇总 表面形貌 重力方向

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