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陈光焱图谱-机械领域：

相关人员

田扬超 杨黎明 刘刚 王超 蒋子平 熊瑛 温中泉 温志渝

研究领域

UV-LIGA 惯性开关 SU-8光刻 牺牲层技术 微泵 低g值开关 计算机模拟 静电力

所属机构

四川绵阳 中国工程物理研究院电子工程研究所

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