孙国芹 李力森 尚德广 沈通 邓静 李浩群 丁雷 张大成 马新平 阎楚良 刘豪

多轴非比例加载 薄膜 有限元方法 有限元分析 疲劳 耦合场分析 梳状驱动器 单轴 微机电系统设计 微机电系统 机电耦合分析 迟滞回线 弹塑性有限元分析 扭转疲劳 吸附电压 变幅 MEMS

北京大学微电子学系 北京工业大学机电学院