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薛实福图谱-机械领域：

相关人员

李庆祥 白立芬 高宏 马东海 于水 王伯雄 邹莉 严普强

研究领域

分光元件 表面形貌 补偿 膜厚测量仪 DMA控制器 相移干涉技术 有限元方法 台阶测量

所属机构

清华大学精密仪器与机械学系

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