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研究领域
附着力
微波等离子体化学气相沉积法
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金刚石膜
微波等离子体化学气相沉积
分子筛
WC-Co硬质合金
微波等离子体CVD法
偏压
刀具
微波
氧等离子体
HFCVD
刻蚀
图形化加工
Ti过渡层
纳米碳管
微波等离子体
直流辉光放电
散热片
YG6硬质合金
CVD
CVD金刚石膜
研磨
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生长
膜—基附着力
硬质合金
WCCo基底
所属机构
中国科学院等离子体物理研究所
武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验...
江汉大学化学与环境工程学院
湖北省等离子体化学与新材料重点实验室武汉...
武汉化工学院
武汉化工学院湖北省微波等离子体化学与新材...
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