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沈祥伟图谱-机械领域：

相关人员

闫峰 卢红成 刘正堂 李阳平

研究领域

抗反射亚波长结构 刻蚀速率 宽波段 反应离子刻蚀

所属机构

西北工业大学材料学院

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