何世平 付绍军 陶晓明 叶为全 刘正坤 楼俊 谭鑫 陈瑾 刘颖 朱向冰 徐向东 盛斌 王旭迪

分辨率 图形转移 HfO2薄膜 刻蚀速率 表面质量 闪耀光栅 变间距光栅 变栅距光栅 像差 分束光栅 线密度 真空紫外 单晶硅 变线距光栅 衍射光栅 全息光栅 各向异性湿法刻蚀 离子束刻蚀 干涉仪 干涉测量 刻线弯曲 掩模 夫琅禾费衍射 软X射线 刻槽分布函数 光栅刻线 消像差光栅 环形条纹 云纹

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