张为权 卓永模 徐敏 刘东 游艺锋 孙丹丹 陈琛 牟旭东 骆永洁 杨李铭 杨李茗 吴璀罡 陈阳杰 程华山 汪凤全 冷炜 王道档

曲率半径 细化 点衍射 比对 电子共模抑制 重复性 轮廓仪 原位测量 速度干涉仪 多普勒测速 数学形态学 无损检测 人机界面 扫描力 轻敲模式 双灵敏度 归一化转动惯量 泰曼-格林干涉系统 疵病 测量精度 干涉术 泰曼——格林干涉系统 双焦透镜 CCD列阵 微位移测量 超光滑 原子力显微镜 模板匹配算法 图像拼接 干涉仪

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 浙江大学光电信息工程系