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李文昊图谱-机械领域：

相关人员

巴音贺希格 齐向东 张浩泰 谭鑫

研究领域

离心式涂胶 刻蚀模拟 光刻胶 衍射效率 紫外光栅 凹球面 闪耀光栅 数学模型

所属机构

吉林长春 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院研究生院

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