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李志坚图谱-机械领域：

相关人员

韦嘉 刘理天 侯智昊 谭智敏 宣云 刘泽文 齐臣杰 王昱 雷啸锋 胡光伟 方杰

研究领域

特征阻抗 磨损 微马达 RF MEMS开关 射频 能量法 微机电系统 侧向钻蚀 接触式开关 台面法兰盘 机械可靠性 共面波导 MEMS开关 摩擦 并联接触 压控电容 寿命

所属机构

清华大学微电子学研究所

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