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杉山进图谱-机械领域:
相关人员
李以贵
陈少军
研究领域
聚甲基丙烯酸甲酯
X射线光刻
微针阵列
X光光刻
高深宽比
三维微结构
同步辐射光刻
亚波长光栅
移动LIGA
多层微纳制造
吸收体
无痛化注射
掩模
对准工具
所属机构
上海交通大学微纳米技术研究院薄膜与微细技...
日本立命馆大学微系统系
上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实...
立命馆大学微系统系
上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验...
日本立命馆大学微系统研究中心
上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微...
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