郑丹 王跃林 刘斌 朱红月 李昕欣 孙红灵 宋朝辉 戈肖鸿 程保罗 张培强 芮强 焦继伟 丁人平 宋朝晖 董健 车录锋

微机械传感器 临界频率 曲面过载保护 电火花线切割加工 振幅 电火花磨削 加速度传感器 压膜阻尼 硅微机械加速度传感器 冲击 绝缘工艺 低速走丝 6轴数控 薄膜残余应力 联合减振 蜂窝环件 压力膜片 动力吸振器 专用机床 体硅工艺 侧壁扩散 主动隔振 微机电系统 力学灵敏度 自适应控制

中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感... 中国科学院材料力学行为和设计重点实验室 浙江大学信息与电子工程系 中国科学技术大学力学和机械工程系 中国科学院上海冶金研究所 上海200050上海应用技术学院