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Rayleigh异常 数据融合 全三角槽形模型 闪耀波长 金属光栅 光学头 补偿效应 精密刻划 宽波段光栅 数值分析 衍射光栅 多传感器 加工工艺 激光器调谐光栅 杂散光 共振异常 镀膜技术 非异常区 TM偏振 分束光栅 小波变换

中国科学院研究生院 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 清华大学精密仪器与机械学院