周洪军 赵屹东 付绍军 崔明启 王占山 吴文娟 王风丽 霍同林 秦树基 陈玲燕 王洪昌 孙丽娟 朱京涛 王蓓 张淑敏 徐向东 徐垚 徐敬 李存霞

多层膜 极紫外 掠入射角 带宽 X射线衍射仪 刻蚀 光栅 单纯形调优 同步辐射 X射线超反射镜 相移片 亚四分之一波长 薄膜 低原子序数材料 光学性能 偏振光学元件 反射率测试 非周期多层膜 透射电镜 检偏器 高反射率 刻蚀比 光谱分辨率 最小膜层厚度 宽波段 梯度多层膜

同济大学精密光学工程技术研究所物理系 安徽合肥 中国科技大学同步辐射国家重点实验室