马炳和 姜澄宇 袁广民 苑伟政 秦伟 谢建兵 蒋庆华 王涛

姿态估计 绝缘体上硅 宏建模 力反馈 电荷放大器 接口电路 干法释放 系统级

西北工业大学微纳米系统实验室 西北工业大学微纳米系统重点实验室 西北工业大学陕西省微纳米系统重点实验室