程建辉 王珉 李剑峰 孟磊 张建华 韩云鹏 任怀伟 栾芝云 陈举华 葛培琪 章亮炽 亓俊红 刘加富 张磊 贺东溥

磨削加工 磨削液 沙漏控制 曲柄摇杆机构 塑性域 单晶硅 加工裂纹 内能 最佳受力 精密切片 行程速比系数 磨削强化 表层相变 硬脆材料 金刚石工具 热量分配比 锯磨 伪应变能 晶片 温度场仿真 集成电路 剪力自锁 磨损 去除机理