王风丽 张众 崔明启 陈玲燕 付绍军 张淑敏 赵屹东 王洪昌 朱京涛 王蓓 徐向东 吴文娟 王占山 周洪军 徐敬 徐垚 霍同林 孙丽娟

刻蚀 薄膜 光栅 相移片 X射线衍射仪 检偏器 光谱分辨率 带宽 同步辐射 多层膜 偏振光学元件 极紫外 反射率测试 刻蚀比 X射线超反射镜 低原子序数材料 透射电镜 单纯形调优 梯度多层膜

同济大学精密光学工程技术研究所物理系 安徽合肥 中国科技大学同步辐射国家重点实验室