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盛斌图谱-机械领域：

相关人员

付绍军 刘颖 徐向东 洪义麟

研究领域

闪耀光栅 掩模 各向异性湿法刻蚀 单晶硅 真空紫外

所属机构

中国科学技术大学国家同步辐射实验室

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