刘刚 田金萍 赵玮 郑津津 陈光焱 柳龙华 熊瑛 陈洁 黄新龙 于磊 刘雳颋 张峰 沈连婠 李文杰

微塑铸 X射线透射光栅 SU-8光刻 正交实验法 信噪比 改进的Canny算法 LIGA技术 X射线光刻 X射线显微成像技术 加速度触发开关 电子束光刻 菲涅耳波带片 UV-LIGA 牺牲层技术 衍射效率 紫外光刻 空间分辨率 微流体器件 X射线成像

中国科学技术大学国家同步辐射实验室