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王飚图谱-机械领域:
相关人员
仇圣棻
彭坤
吴萍
肖德元
研究领域
侧壁残留
硅化钨
动态随机存储器
湿法清洗
快速热处理
漏电流
所属机构
昆明理工大学机电学院
西南交通大学经济管理学院
中芯国际集成电路制造有限公司晶圆S1厂
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