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王聪和图谱-机械领域：

相关人员

王钻开 宗登刚 陆德仁

研究领域

弹性模量 残余应力 微电子机械系统 弯曲强度 低压化学气相淀积 氮化硅 微桥

所属机构

香港理工大学应用物理系 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感...

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