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王钻开图谱-机械领域：

相关人员

宗登刚 陆德仁 王聪和

研究领域

灵敏度 频率 氮化硅 残余应力 加速度传感器 静态测试 低压化学气相淀积 弯曲强度 微桥 微电子机械系统 弹性模量

所属机构

中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感... 香港理工大学应用物理系

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